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1200℃集成（chéng）型自（zì）動小型PECVD係統
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- 商品名稱: 1200℃集成型自動小型PECVD係統
- 商品編號: 1034427118517051392
PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電（diàn）離，在局部形成等離子（zǐ）體（tǐ），而等（děng）離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD係（xì）統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD係（xì）統PECVD-12IH-4Z/G
銷（xiāo）售熱線：15122725930（微信）
產品用途
PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部（bù）形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反（fǎn）應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
PECVD係統配置；
1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐
2.等（děng）離（lí）子射頻電源（yuán）
3.多（duō）路質量流量控製係（xì）統
4.真空係統（單獨購買）
產品特性;
電（diàn）源範（fàn）圍廣；溫度範圍（wéi）寬；濺射區域長；整管可調；精致小巧，性（xìng）價比高，可實現快速升降（jiàng）溫，是實驗室生（shēng）長薄（báo）膜石墨烯（xī），金（jīn）屬薄膜，陶瓷薄膜，複合薄膜等的理想選擇，也（yě）可作為擴展（zhǎn）等（děng）離子清洗刻蝕使用。
係統名（míng）稱
集成型（xíng）PECVD係統
1200℃小型PECVD係統
係統型號
PECVD-12IH-500A
PECVD-12IH-4Z/G
控製方（fāng）式
液晶屏微PLC控製係統
手動
最高溫度
1200℃
加熱區長度
200mm
恒溫區（qū）長度
100mm
溫區
單溫區
石（shí）英管管徑（jìng）
Φ60mm
Φ50mm
額定功率
1.2Kw
2Kw
額定電（diàn）壓
220V
滑動（dòng）方式及距離
自動滑動（dòng）;200mm
手動滑（huá）動;200mm
溫度控製
30段程序控溫
50段程序控溫
控製精度（dù）
±1℃
爐管（guǎn）最高工作（zuò）溫度
＜1200℃
氣路法蘭
采用多環密封技術卡箍快速連接
排風冷卻裝置
先進的空氣隔熱技術，結（jié）合熱感應技術，當爐體表麵溫升到50℃時，
排溫風扇將自動啟動，使爐體（tǐ）表麵快速降（jiàng）溫。
氣體（tǐ）控製（zhì）方式
質量流（liú）量計（按鍵（jiàn）式）
氣路數量
2路（2-4路（lù））
4路（可根據具體（tǐ）需要（yào）選配氣路（lù）數量（liàng））
流量範圍
0-500sccm(標準毫升/分，可選（xuǎn）配）氮氣標定
精度
±1%F.S
響應時間
1sec
工作溫度（流量計）
20-120℃
工作（zuò）壓力
進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
進氣方式
采用防倒流設計
規（guī）格
中真空（集成（chéng）型請單獨購買）
係統真空範圍
10Pa-100Pa
真空泵
雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/S（選配：其他抽（chōu）速真空泵）,出氣口配有油汙過濾器，額定電壓（yā）220V，功率（lǜ）0.55Kw
信號頻率（lǜ）
13.56MHz±0.005%
功率輸（shū）出範圍
0W-500W
0W-100W
最大反射功率
350W
30W
射頻輸出接口
50Ω，N-type,temale
功率（lǜ）穩定度
±0.1%
諧波分量
≤-50dbc
供電（diàn）電壓
單相交流（187V-253V)頻率50/60HZ
整機功（gōng）率
≥70%
屏（píng）幕顯示
正方向功率，匹配器電容位置，偏置（zhì）電壓值
爐體外形尺寸
290×350×340mm
290×350×495mm
係統外形尺寸
420×1440×1100mm
530×2310×750mm
係統總重量
270Kg
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